بررسی تاثیر دمای بازپخت در نانو ساختار لایه های نازک اکسید مولیبدن

thesis
abstract

لایه های نازک مولیبدن با ضخامتnm 50، با استفاده از سیستم کندوپاش مغناطیسی بر روی زیرلایه (400) si انباشت شدند و در دماهای مختلف (?700، 575، 450، 325، 200) در حضور شار ثابت اکسیژن (cc/min200) بازپخت شدند. ساختار بلوری نمونه ها با پراش اشعه- x تحلیل شد و از یک میکروسکوپ نیروی اتمی(afm) برای بررسی ریخت شناسی سطح نمونه ها استفاده شد. مقاومت ویژه لایه های نازک اکسید مولیبدن نیز با استفاده از ابزار چهار میله نوک تیز (fpp) تحلیل شد. نتایج پراش پرتو-x نشان داد ساختار بلوری لایه های نازک اکسید مولیبدن قویاً به دمای بازپخت وابسته است، همچنین نتایج نشان داد که افزایش دمای بازپخت سبب افزایش اندازه دانه ها، زمختی سطح نمونه ها می شود. همچنین نتایج بررسی الکتریکی نشان داد مقاومت ویژه نمونه ها با افزایش دمای بازپخت تا ? 575 افزایش وسپس کاهش می یابد.

First 15 pages

Signup for downloading 15 first pages

Already have an account?login

similar resources

بررسی نانو ساختار لایه های نازک اکسید مس بصورت تابعی از دمای بازپخت

این پایان نامه به بررسی تاثیر دما و محیط بازپخت در نانو ساختار لایه های نازک اکسید مس می پردازد. لایه های نازک مس به روش تبخیر حرارتی در خلاء( pvd ) برروی زیر لایه های شیشه تهیه شده و سپس در محیط های مختلف در اتمسفر(هوا) و در حضور شار ثابت اکسیژن (cc/min 200) در دماهای c?400-200 باز پخت شدند. در مرحله بعد نیز به وسیه آنالیزی های پراش پرتو – (xrd)x و میکروسکوپ نیروی اتمی (afm) ساختار کریستالو ...

15 صفحه اول

بررسی تاثیر دمای بازپخت در نانوساختار و خواص مکانیکی لایه های نازک نیترید مولیبدن

لایه های نازک نیترید مولیبدن، به دلیل خواص فیزیکی فوق العاده شان از قبیل: رسانایی الکتریکی خوب و پایداری شیمیایی، استحکام عالی، توانایی کاتالیزوری و ابر رسانایی به صورت گسترده ای در صنعت استفاده می شوند و کاندیدای آتی برای استفاده به عنوان سد پخش، و الکترودها در میکرو الکترونیک هستند. بازپخت، یک تکنیک بسیار مهم برای بهبود ساختار میکروسکوپی لایه های نازک است. زیرا نانو ساختارها با دما، به خوبی...

15 صفحه اول

مطالعه نانو ساختار و ریخت شناسی لایه های نازک اکسید زیرکونیوم تهیه شده به روش بازپخت لایه های نازک زیرکونیوم

لایه های نازک زیرکونیوم، به وسیله روش کندوپاش مغناطیسی dc بر روی زیرلایه سیلیکون انباشت شدند و سپس در دماهای ( 750-150) و زمان های متفاوت (min 180و60 ) با شار اکسیژن، بازپخت گردیدند. روش پراش پرتو - x برای مطالعه ساختار بلوری استفاده شد. نتایج، ساختاری مکعبی از فاز ارتورهمبیک اکسید زیرکونیوم برای لایه های بازپخت شده تحت 150 و ساختار مرکبی از منوکلینیک و تتراگونال برای لایه های بازپخت شده در دما...

تاثیر دمای حمام شیمیائی بر تغییرات نانو ساختار لایه نازک CdS تهیه شده به روش نشست شیمیایی در حمام

full text

بررسی تاثیر دمای بازپخت در گاف انرژی اکسید تیتانیوم مورد استفاده در حذف آلاینده‌های زیست محیطی ازآب دریا

لایه های نازک تیتانیوم با روش تبخیر به وسیله باریکه الکترونی با ضخامت 70 نانومتر تهیه و سپس در دماهای مختلف  K 573-300 در حضور شار ثابت اکسیژن بازپخت شدند. نانو ساختار و جهت های  کریستالو گرافی با استفاده از آزمایش پراش پرتو-X تحلیل و خواص اپتیکی نمونه ها با استفاده از دستگاه اسپکتروفوتومتر بررسی شد. با بازپخت  نمونه ها نتایج حاصل از XRD شکل گیری جهت کریستالی A(004) مربوط به فازآناتاس دی اکسید ...

full text

تأثیر دمای بازپخت بر خواص ساختاری و مغناطیسی لایه نازک آهن-پلاتین

هدف اصلی این تحقیق، بررسی خواص ساختاری و مغناطیسی لایه نازک FePt نسبت به دمای بازپخت است. لایه‌های نازک FePt به روش کندوپاش روی زیرلایه شیشه ای با نرخ                          6 و با توان W 110 رسوب داده شدند. خلأ اولیه محفظه کندوپاش برابر Torr 7-10 5 و فشار گاز آرگون mTorr 3 در نظر گرفته شد. پس از تهیه نمونه‌ها، در محدوده 650-450 به مدت 30 دقیقه بازپخت شدند. شناسایی فازی لایه نازک ب...

full text

My Resources

Save resource for easier access later

Save to my library Already added to my library

{@ msg_add @}


document type: thesis

دانشگاه آزاد اسلامی - دانشگاه آزاد اسلامی واحد تهران مرکزی - دانشکده علوم

Keywords

Hosted on Doprax cloud platform doprax.com

copyright © 2015-2023